Alumina Vacuum Chuck para sa Precision Dicing ug Grinding
Ang alumina vacuum chuck sa St.Cera gihimo gikan sa 99.8% nga taas nga kaputli nga Al₂O₃ nga adunay mga precision-machined vacuum grooves. Ang among precision grinding capability nakab-ot ang flatness nga 0.003mm ug parallelism nga 0.002mm, nga nagsiguro sa warp-free wafer fixation atol sa dicing, backside grinding, ug inspeksyon. Ang materyal nagtanyag og taas nga flexural strength (361 MPa), hardness (16 GPa), ug thermal stability hangtod sa 800°C. Anaa sa mga round format hangtod sa 600mm outer diameter (OD) ug rectangular shapes hangtod sa 1500mm ang gitas-on. Ang mga vacuum grooves gi-custom-design (concentric, radial, o grid patterns) aron mohaum sa piho nga mga kinahanglanon sa proseso. Ang matag chuck gisusi gamit ang laser interferometer ug gihatagan og flatness verification report.
Mga Espesipikasyon (base sa 99.8% Al₂O₃& mga kapabilidad sa paggama sa St.Cera):
| Kabtangan | Bili |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Gawas nga Diametro (maximum) | 600mm |
| Gibag-on (maximum) | 100mm |
| Gitas-on (maximum) | 1500mm |
| Pagkapatag | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Paghuman sa Ibabaw | Ra0.1 |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 800°C |
Mga Aplikasyon:
- · Pagtadtad ug pag-scribe sa wafer (200mm/300mm ug mas dako pa)
- · Paggaling sa likod sa nipis nga mga wafer
- · Pag-inspeksyon ug pagsusi sa optika
- · Pagdumala sa dagkong substrate
Katukma sa Paggama:
- · Pagkatul-id: 0.005mm
- · Perpendikularidad: 0.005mm
- · Pagkalingin: 0.002mm
- · Konsentriko: 0.01mm
