Taas-Kaputli nga Alumina Ceramic End Effector para sa mga Robot sa Pagdumala sa Wafer
Ang alumina ceramic end effector sa St.Cera gi-machine gamit ang 99.8% high-purity Al₂O₃ gamit ang advanced 5-axis CNC grinding equipment. Ang among mga kapabilidad sa paggama naglakip sa precision grinding machines ug CNC machining centers, nga nagtugot sa komplikado nga mga geometries nga adunay taas nga precision. Ang end effector adunay nipis nga profile (sama ka nipis sa 1.5 mm) nga adunay tapered leading edge para sa hapsay nga wafer insertion. Ang materyal naghatag og taas nga stiffness (Young's modulus 380 GPa), maayo kaayo nga wear resistance, ug thermal stability hangtod sa 800°C. Ang matag unit gi-precision grind aron makab-ot ang flatness nga 0.003mm, parallelism nga 0.002mm, ug surface finish nga Ra0.1, nga nagsiguro sa makanunayon nga wafer contact ug particle-free nga operasyon sa semiconductor FAB environments. Anaa sa gitas-on gikan sa 150 mm hangtod 450 mm, nga adunay custom tip geometries (edge grip, Bernoulli, flat) ug mounting flanges aron mohaom sa OEM robots. Ang mga opsyon sa surface finish naglakip sa lapped, polished, o ESD dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Mga Espesipikasyon (base sa 99.8% Al₂O₃& mga kapabilidad sa paggama sa St.Cera):
| Kabtangan | Bili |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Pagkapatag | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Paghuman sa Ibabaw | Ra0.1 (gipahiran/gipasinaw) |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 800°C |
| Sakop sa Gitas-on | 150–450 mm |
Mga Aplikasyon:
- · Pagbalhin sa wafer sa mga robot nga vacuum ug atmospheric
- · Mga FAB automation end effector para sa 200mm/300mm nga mga wafer
- · Pagdumala sa nipis nga wafer (nga adunay opsyon sa ESD)
Mga Kaarang sa Paggama:
Ang among mga precision grinding machine ug CNC machining center nagtugot sa paghimo og komplikado nga mga ceramic component gamit ang:
- · Pinakataas nga gitas-on sa pagmachine: 1500mm
- · Pinakataas nga gawas nga diametro: 600mm
- · Minimum nga diametro sa sulod: 0.2mm
- · Pinakataas nga gibag-on: 100mm
Pagkontrol sa Kalidad:
Tul-id 0.005mm, perpendicularity 0.005mm, roundness 0.002mm, parallelism 0.002mm, concentricity 0.01mm nga gipamatud-an sa CMM. Ang matag unit gilimpyohan sa ultrasonically ug giputos sa Class 100 cleanroom.
