Alumina-Based Standard Vacuum Chuck – Taas nga Rigidity para sa Precision Machining
Kining alumina-based vacuum chuck gihimo gikan sa 99.8% Al₂O₃, nga nagtanyag og hamis nga dili-porous nga nawong nga adunay custom vacuum groove patterns. Naghatag kini og talagsaong rigidity (Young's modulus 380 GPa) ug flatness (≤3 μm), nga naghimo niini nga sulundon alang sa precision grinding, lapping, ug dicing sa semiconductor wafers ug optical components. Ang taas nga thermal conductivity sa materyal (32 W/m·k) nagsiguro sa pagkaparehas sa temperatura atol sa pagproseso.
Mga Espesipikasyon(base sa 99.8% Al₂O₃):
| Kabtangan | Bili |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Konduktibidad sa Init | 32 W/m·k |
| Pagkapatag | ≤3 μm (labaw sa 200mm) |
| Kabangis sa Ibabaw (kilid sa chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 800°C |
Mga Aplikasyon:
- · Paggaling sa likod nga bahin sa wafer (gaspang ug pino)
- · Tukma nga pagtadtad sa mga materyales nga dali mabuak
- · Pag-lapping sa mga seramikong substrate
- · Pagpasinaw sa lente sa optika
Paggama:
Tukma nga pag-lapping sa duha ka kilid → diamond grooving (opsyonal) → edge rounding → ultrasonic cleaning → 100% flatness inspection gamit ang laser interferometer.
Amga bentaha:
- · Ang lig-on nga suporta makapakunhod sa pagtipas ubos sa karga
- · Walay pagmugna og partikulo gikan sa porous nga istruktura
- · Sayon limpyohan (compatible sa solvent-wipe)
- · Mapasibo ang mga uka nga hinimo sa vacuum (concentric, radial, custom patterns)
Mga Gidak-on nga Magamit:
Lingin: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; kuwadrado/rektanggulo kon hangyoon.
Nagtanyag usab kami og mga bersyon nga hinimo sa metal para sa mas taas nga mekanikal nga kalig-on.
