Singsing nga Selyo nga Seramik nga Alumina nga Taas ang Kaputli para sa Pagsilyo sa Chamber nga Taas ang Temperatura
Ang ceramic seal ring sa St.Cera gidisenyo isip alternatibo sa polymer O-rings sa grabeng mga palibot diin ang mga elastomer madaot. Gihimo gikan sa 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃), kini nga rigid seal ring gigamit sa mga static sealing application — kasagaran ipares sa humok nga metal o graphite gasket — aron makahatag og kasaligan nga vacuum o gas containment sa temperatura nga hangtod sa 800°C ug sa agresibo nga plasma o kemikal nga mga palibot. Ang materyal nagtanyag og zero outgassing, taas nga compressive strength (nagpaila nga flexural strength 361 MPa), ug chemical inertness (makasukol sa mga halogen, acid, ug alkali gawas sa HF). Ang precision-lapped sealing surfaces (flatness ≤5 μm, surface roughness Ra ≤0.2 μm) nagsiguro sa leak-tight contact sa mating metal o ceramic components.
Mga Espesipikasyon(base sa 99.8% Al₂O₃):
| Kabtangan | Bili |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Pagsuhop sa Tubig | 0% |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Kusog sa Kompresibo (gibanabana) | >2000 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Pagpalapad sa Init (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 800°C (hangin), 1600°C (dili aktibo) |
| Paghuman sa Ibabaw (pagsilyo sa nawong) | Ra ≤0.2 μm (gipatong) |
| Pagkapatag (kada 25 mm) | ≤5 μm |
| Rate sa Pagtulo sa Helium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (nga adunay angay nga gasket) |
Mga Aplikasyon:
- · Mga static seal sa semiconductor process chamber (CVD, PVD, etch)
- · Mga selyo sa pultahan sa hurno nga taas og temperatura
- · Mga flange nga pang-vacuum feedthrough
- · Pagsira sa mga sudlanan sa kemikal nga reaktor
Proseso sa Paggama:
Isostatic pressing → sintering sa 1600°C → precision double-side lapping aron makab-ot ang ultra-flat, hamis nga sealing faces → edge chamfering → ultrasonic cleaning. Ang matag singsing 100% leak-tested sa usa ka helium leak detector nga adunay standard nga metal gasket.
Pagkontrol sa Kalidad:
- · Pagsusi sa dimensyon sa CMM (ID, OD, gibag-on, paralelismo)
- · Surface profilometer para sa Ra ug waviness
- · Pagsukod sa pagkapatag gamit ang optical flat
- · Pagsulay sa pagtulo sa helium (pamaagi sa back-pressurization)
Mga bentaha kon itandi sa Polymer O-rings:
- · Makasukol sa 800°C batok sa <300°C alang sa FFKM
- · Walay outgassing — walay kontaminasyon sa vacuum nga palibot
- · Dili masudlan sa tanang kemistriya sa plasma (fluorine, chlorine, oxygen)
- · Walay compression set o permanente nga deformation
- · Walay kinutuban nga kinabuhi sa serbisyo sa limpyo nga palibot
Mga Limitasyon (Mga Kritikal nga Komento):
- · Dili usa ka O-ring— kini usa ka gahi nga seramiko nga singsing nga nanginahanglan og humok nga gasket (tumbaga, aluminyo, o grapayt) aron masilyohan.
- · Dili modawat sa dinamikong paglihok o dakong dili pag-align sa flange.
- · Mas taas ang inisyal nga gasto kaysa sa polymer O-rings, apan mas taas ang kinabuhi niini makapakunhod sa gasto sa pagpanag-iya.
- · Mabuak — kuptan uban ang pag-amping; likayi ang pagbangga sa tumoy o tensiyon sa pagliko.
Mubo nga sulat:Ang datos sa ibabaw hugot nga nagsunod sa gihatag nga Al₂O₃ property table. Walay datos para sa elastomeric nga mga materyales nga gihatag. Kini nga produkto usa ka static seal ring, dili usa ka elastomeric O-ring. Palihug kumpirmahi kung kini nakakab-ot ba sa mga kinahanglanon sa imong aplikasyon.
