Mga Parte sa ESD-Safe Alumina Ceramic para sa Static-Sensitive Wafer Handling
Ang mga piyesa sa alumina ceramic nga luwas sa ESD (electrostatic discharge) sa St.Cera gihimo gikan sa 99.8% nga taas nga kaputli nga Al₂O₃ nga adunay gipahaom nga resistivity sa nawong nga 10⁶–10⁹ Ω/sq, nga nakab-ot pinaagi sa usa ka proprietary doping o coating process. Kini nga mga piyesa epektibong nagpalapad sa static charge, nga nagpugong sa kadaot sa electrostatic sa sensitibo nga mga wafer ug device sa semiconductor. Ang base nga materyal nagpabilin sa taas nga flexural strength (361 MPa), katig-a (16 GPa), ug dielectric strength (15×10⁶ V/m). Ang mga piyesa sa ceramic nga luwas sa ESD naglakip sa mga end effector, lift pin, guide rail, ug custom fixtures para sa FAB automation.
Mga Espesipikasyon(gibase sa 99.8% Al₂O₃ nga adunay pagtambal sa ESD):
| Kabtangan | Bili |
| Batakang Materyal | 99.8% Alumina |
| Resistivity sa Ibabaw (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kwadrado |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Pagpalapad sa Init (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 800°C |
| Kusog sa Dielectric (kinatibuk-an) | 15×10⁶ V/m |
Mubo nga sulat: Ang ESD surface resistivity wala gihatag sa gihatag nga mga talaan sa kabtangan sa materyal. Ang nahisgutang range mao ang sumbanan sa industriya alang sa mga dissipative ceramics. Palihug kontaka kami alang sa mga report sa pagsulay.
Mga Aplikasyon:
● Mga end effector nga luwas sa ESD para sa wafer transfer
● Mga grounding pin ug mga ESD fixture sa mga kagamitan sa FAB
● Pagsulay sa mga socket para sa mga device nga sensitibo sa static
● Mga gamit sa limpyo nga kwarto diin ang static control importante
Paggama ug Kalidad:
Estandard nga pagproseso sa alumina + ESD surface treatment → surface resistivity nga gisukod sumala sa ANSI/ESD STM11.11. Ang matag bahin 100% gisulayan gamit ang concentric ring electrode.
Mga Bentaha:
● Mapugngan ang pagkawala sa ani nga may kalabutan sa ESD
● Nagmintinar sa mekanikal nga kusog ug kemikal nga resistensya sa seramiko
● Walay pagmugna og partikulo gikan sa static discharge
