Taas-Kaputli nga Alumina Ceramic Robot Arm para sa Pagdumala sa Wafer
Ang alumina ceramic robot arm sa St.Cera gihimo gamit ang 99.8% nga high-purity Al₂O₃ (alumina) nga adunay tukmang pagkagama. Kini naghiusa sa talagsaong flexural strength (361 MPa), taas nga katig-a (16 GPa), ug ubos nga densidad (3.93 g/cm³), nga miresulta sa usa ka gaan apan gahi nga bukton para sa semiconductor wafer transfer. Ang thermal expansion coefficient sa materyal (7.2×10⁻⁶/°C) hugot nga mohaom sa silicon, nga nagpamenos sa thermal mismatch atol sa pagproseso.
Mga Espesipikasyon (base sa 99.8% Al₂O₃):
| Kabtangan | Bili |
| Kolor | Garing |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Konduktibidad sa Init | 32 W/m·k |
| Pagpalapad sa Init | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kusog sa Dielektriko | 15×10⁶ V/m |
Mga Aplikasyon:
- Mga robot sa pagbalhin og vacuum wafer (200mm/300mm)
- Mga sistema sa pagdumala sa atmospera
- Mga bukton sa end effector para sa FAB automation
Proseso sa Paggama:
Isostatic pressing → green machining → sintering sa 1600°C → CNC precision grinding → ultrasonic cleaning → Class 100 cleanroom packaging. Ang matag arm 100% nga gisusi sa CMM para sa pagkapatag (±0.01 mm) ug pagkagasgas sa nawong (Ra ≤0.4 μm).
Pagkontrol sa Kalidad:
Ang St.Cera adunay sertipikasyon nga ISO 9001:2015. Naghimo kami og dye penetrant testing para sa micro-cracks, three-point bending para sa flexural strength, ug dielectric strength test sumala sa ASTM D149.
Mga bentaha kon itandi sa mga metal nga armas:
- 50% mas gaan kay sa stainless steel
- Walay galvanic corrosion
- Mas ubos nga pagmugna og partikulo (≤0.05 ka partikulo/cm²)
- Anaa ang ESD-safe coating (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Pag-customize:
Ang gitas-on gikan sa 150mm hangtod 450mm, mga porma sa tumoy (gigunitan sa ngilit, Bernoulli, vacuum), ug mga sumbanan sa pag-mount sa flange sumala sa mga drowing sa OEM. Mga prototype sulod sa 2 ka semana.
Para sa bulk orders, palihog pangayo og quotation.
