Silicon Carbide (SiC) Ceramic End Effector – Taas nga Katig-a para sa Pagdumala sa Taas nga Temperatura nga Wafer
Ang SiC ceramic end effector sa St.Cera gihimo gikan sa high-purity silicon carbide (SiC content 99.72%, free Si 0.05%) gamit ang S1111 batch material. Nagtanyag kini og talagsaong mekanikal nga mga kabtangan: flexural strength 449 MPa (gisukod), elastic modulus 457 GPa (gisukod), ug Vickers hardness 25–28 GPa (tipikal). Ang ubos nga density (3.10–3.15 g/cm³, tipikal) naghatag og taas nga specific stiffness, sulundon alang sa mga high-speed wafer transfer robot. Uban sa thermal conductivity nga 120–150 W/m·K (tipikal) ug thermal expansion coefficient nga 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipikal), kini nga end effector epektibong nagpalapad sa kainit ug nagmintinar sa dimensional stability atol sa high-temperature handling (hangtod sa 1600–1700°C, walay load). Ang itom/abohon nga kolor ug zero water absorption nagsiguro sa cleanroom compatibility.
Mga Espesipikasyon(base sa gihatag nga SiC S1111 test report ug tipikal nga mga kantidad)):
| Kabtangan | Bili |
| Materyal | SiC (99.72% SiC, 0.05% Libre nga Si) |
| Kolor | Itom/Abohon |
| Densidad | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Pagsuhop sa Tubig | 0% |
| Kusog sa Pag-flex | 449 MPa (kasagaran) |
| Kalig-on sa Bali | 3.12 MPa·m¹/² (aberids) |
| Elastikong Modulus | 457 GPa |
| Katig-a sa Vickers | 25–28 GPa |
| Konduktibidad sa Init (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Max nga Temperatura sa Paggamit (walay karga) | 1600–1700°C |
Mga Aplikasyon:
● Pagdumala sa wafer nga taas og temperatura (post-anneal, RTP, epitaxy)
● Mga plasma etch chamber nga nanginahanglan og taas nga resistensya sa erosyon
● Mga robot nga kusog mobalhin (gaan, gahi)
Paggama:
SiC powder sintering → katukma sa CNC grinding sa arm profile ug mga bahin sa pag-mount → surface lapping → ultrasonic cleaning. 100% dimensional nga inspeksyon ug helium leak test para sa mga aplikasyon sa vacuum.
Pagkontrol sa Kalidad:
● Inspeksyon sa CMM sa gitas-on, gilapdon, ug kal-ang
● Pagsulay sa kusog sa pag-flexural kada batch (sumala sa sumbanan sa report sa pagsulay)
● Biswal nga inspeksyon ubos sa mikroskopyo para sa mga depekto sa nawong
Mga bentaha kon itandi sa alumina o metal:
● 2× mas taas nga elastic modulus (457 vs ~380 GPa para sa alumina) – mas gamay nga deflection
● 3× mas taas nga thermal conductivity – mas paspas nga pagkatag sa kainit
● Makasugakod sa >1600°C kon itandi sa 800°C sa alumina sa hangin
● Mas ubos ang densidad kay sa asero – 40% nga pagkunhod sa gibug-aton
Pag-customize:
Gitas-on 150–450 mm, porma sa tumoy (gikuptan sa ngilit, Bernoulli, patag), mga sumbanan sa pag-mount sa flange sumala sa OEM drawing.
*Ang tanang mekanikal nga datos sa ibabaw gikan sa gihatag nga test report (batch S1111). Ang mga thermal ug hardness value kasagaran para niining SiC grade; palihog kontaka kami para sa lot-specific certification.*
