Singsing sa Insulasyon nga Alumina PVD para sa mga Sistema sa Pisikal nga Pagdeposito sa Singaw
Ang PVD insulation ring sa St.Cera gihimo gikan sa 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃) para gamiton sa physical vapor deposition (PVD) systems. Ang singsing naghatag og electrical isolation tali sa mga chamber components, nga nagpugong sa arcing ug nagsiguro sa stable nga plasma operation. Ang mga nag-unang kabtangan naglakip sa taas nga dielectric strength (15×10⁶ V/m), specific resistance >10¹⁴ Ω·mm²/m, ug thermal stability hangtod sa 1600°C. Ang among precision machining capabilities makab-ot ang outer diameters hangtod sa 600mm, inner diameters hangtod sa 0.2mm, flatness nga 0.003mm, ug surface finish nga Ra0.1. Ang zero porosity ug chemical inertness sa singsing nagsiguro sa dugay nga kasaligan sa agresibo nga sputtering environments.
Mga Espesipikasyon (base sa 99.8% Al₂O₃& mga kapabilidad sa paggama sa St.Cera):
| Kabtangan | Bili |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Kusog sa Pag-flex | 361 MPa |
| Katig-a sa Vickers | 16 GPa |
| Kusog sa Dielektriko | 15×10⁶ V/m |
| Piho nga Pagsukol | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Kinatas-ang Panggawas nga Diametro | 600mm |
| Minimum nga Diametro sa Sulod | 0.2mm |
| Kinatas-ang Gibag-on | 100mm |
| Pagkapatag | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Paghuman sa Ibabaw | Ra0.1 |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 1600°C |
Mga Aplikasyon:
- · Mga insulator sa target backing plate sa mga sistema sa PVD
- · Mga insulator sa feedthrough sa kamara
- · Mga insulator nga shield ring sa mga sistema sa sputtering
- · Taas nga boltahe nga pagbulag sa mga lawak sa plasma
Katukma sa Paggama:
Konsentrisidad: 0.01mm, pagkalingin: 0.002mm, pagkatul-id: 0.005mm, pagkaperpendikular: 0.005mm, gipamatud-an sa CMM.
AMga bentaha sa mga Polymer Insulator:
- · Makasugakod sa 1600°C batok sa limitasyon sa polimer nga <300°C
- · Walay outgassing – nagmintinar sa vacuum nga integridad
- · Dili mosukol sa plasma erosion ug kemikal nga pag-atake
Pag-customize:
Anaa ang gipahaom nga mga cross-section, mga feature sa pag-mount, mga step profile, ug daghang mga concentric ring design.
